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    碳化硅定向如何提高多線切割機的切割效率

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    碳化硅定向如何提高多線切割機的切割效率

    發布日期:2019-07-23 00:00 來源:http://www.northstl.com 點擊:

    為了提高多線切割機的切割效率,多線切割機分段切割碳化硅晶體的方法,該方法是根據所切割過程中晶體柱截面不同位置對應的切割長度的不同,變化切割速度,將工作臺的勻速進給切割改為連續、分段不同速度進給,從而保證切割質量的前提下提高了切割效率。

    鑒于現有技術存在的上述問題,對于單個碳化硅晶錠的長度小于多線切割機的切割長度而造成的切割能力和時間的浪費問題,通過將多個晶錠拼接的方式以使其滿足切割機的切割長度,可能可以提高切割效率,同時通過改善切割工藝參數保證拼接后的晶錠定向,滿足定向切割的要求。

    鑒于上述認識,提供一種碳化硅定向的切割方法,所述切割方法至少包括對多個碳化硅晶錠進行整形處理并滾圓至所需尺寸的預處理工序;以及將多個所得碳化硅晶錠依次粘接成一個整體后同時進行切割的切割工序。

    將多個碳化硅晶錠粘接成一個整體,使碳化硅晶錠的總長度增加,然后再進行切割,從而保證了被切割的碳化硅晶錠的長度滿足多線切割機的切割長度,而且能將多個晶錠同時切割出多個晶片,提高了切割效率。

    單晶定向,碳化硅定向,碳化硅晶體

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