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    幾種光學硅單晶定向測量方法

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    幾種光學硅單晶定向測量方法

    發布日期:2019-08-09 00:00 來源:http://www.northstl.com 點擊:

      硅單晶定向測量裝置的光學系統,光軸和結晶方向間的未知夾角可在屏幕上直接以弧度讀出。適當設置一個或多個這樣的光學系統,所有關于單晶建的定向問題都可解決。常見定向問題的有關原理將參照下列幾種定向裝置來論述。

      1.單軸定向測量法

      這種方法可用于測量切片的定向以及檢測硅單晶定向。使用這種方法,經腐蝕后的切片定向很快被顯示在校準后的屏幕上。這種方法屏幕坐標系的切片轉置定向,可通過觀察星腳方向來粗略確定,這樣,硅片的切面定向就可檢測了。一個滑桿沿屏幕軸向置于嚴片臺上,使薄片切面朝該滑桿,借助屏幕土三腳星的轉動,該薄片的定向就顯示出來。


      2。雙軸定向測量法

      這種方法專門用于測量噴砂和腐蝕后的切片定向以及檢測硅片定向。操作中,切片置于以方向為鉸接軸線的承片臺上。垂直屏幕看去,當三腳星同時出現在兩光學系統的屏幕內時,操作完成。因為對稱軸向??偟亩ㄏ蛉″e是這兩個已知定向取錯平方之和的算術根,它們都是微小角度。承片臺上設置一個與鉸接軸線垂直的滑桿,用它作參考來檢測。葉切片上平面平行的切面定向。


      硅單晶定向測量的光學原理已參照各種定向測量方法進行了概述??梢詳嘌?,任何硅晶定向測量問題均可用光學方法來解決,且加工精度也較高。其定向側量裝置小巧耐用,操作省時,不須過多維護,壽命長??傊?,光學方法是一種簡單可靠的硅晶體定向測量方法。


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